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第104章 光刻机(2 / 3)

在2002年的一场研讨会上,林本坚提出:“我们是否可以尝试一下浸入式方案呢?在我看来,在157纳米波长下,水是不透明的液体,但是如果波长换成193纳米的波长时,水在193纳米的光波下,折射率高达1.44,可见光就可以达到指数132纳米!”

“如果把水换成一种比较有可操作性的浸入液,重点解决掉浸入液的问题,那在现在十分成熟的193纳米光刻设备基础上,这种课题我觉得应该不是难题。然后我们还可以把157纳米的……”

当林本坚说完之后,阿斯麦尔的众大佬,立刻惊为天人。

他们不敢保证这个做法肯定可以,但确实是有很大的可操作性。

其实这不是林本坚第一次提出他的构想。

在此之前,他曾和尼康的提出过自己的疯狂设想。

而那时的尼康高层,已经完全否定了193纳米的可行性,正在努力钻研157纳米的干式光刻机。

在他们看来,芯片制程是需要真空无污染的环境,而水本身就是一种污染体,所以这种设想根本不成立!

阿斯麦尔却是不同,他们在认定林本坚这种设想的可行性后,立刻不惜重金,投入到了试验当中。

2004年,阿斯麦尔在烧钱如流水的情况下,终于成功的推出了浸入式的132纳米的光刻机。

而几年之后,尼康才研发出,他们用干式法研

制出的157纳米的光刻机。

关于光刻机方面的知识,又是某次酒后黄永平给乔扬灌输的。

当时两人聊起了天域的芯片产业,乔扬就很不解的问道:“我说老黄,我们就不能自己造芯片吗?非要从外国进口,还得处处受制。我觉得以我们国家现在的水平,造个芯片没多大问题吧?软件不行我认了,因为咱们起步晚,可硬件我觉得还好吧?”

黄永平因为和他是好基友,私下里从未拿他当老板,于是嗤笑一声,说道:“你懂个毛线啊。有技术不是万能的,你还得有设备才行。芯片又不是用手就能画出来的,那得需要光刻机!”

“说到光刻机,就不得不提到ASML。最早ASML就是飞利浦旁边的一个小破厂,实力和尼康、佳能没法比。但当时天劫为了抑制恶运国的科技产业力,于是就花重金支持荷兰的ASML……”

有了天劫的支持,再加上ASML会做事。

他也知道自家公司体量小,于是就和很多公司达成协议,配件都是在这些知名大公司采购,做到了有钱大家赚。

再加上自家的专家也够给力,所以奋起直追,在技术实力方面追上了恶运国双雄。

然后到了今年之后,就发生了前面说的内容。

ASML采纳了林本坚的设想,恶运国双雄开始花样作死,于是被ASML远远甩在了身后。

但因为光刻机的制造工艺太过复杂,而且需要的配件和技术实力实在是太高端,所以每年ASML能生产出几十台光刻机,那就已经是奇迹。

前面说过,现在的第二代光刻机,刚一问世才生产出两三台,你想想后来当光刻机发展到光刻辨识率达到10纳米之内,那制造

工序有多少繁琐。

往往降下去1纳米的光刻辨识率,可能就得多几百几千个高精度配件。

还有ASML荷兰的企业,而且他的股东众多,大多数都是欧美相关行业的巨头。

再加上台积电、联发、高通、博通、英伟达、三星、德州仪器、AMD等芯片巨头。

所以别看光刻机动不动就身价过亿,但ASML每年生产的光刻机,根本不够分的。

自家人都得提前个两三年预定,而且为了得到一台光刻机,几大巨头嘴炮不断的情况也屡见不鲜。

综上所述,天域的企业因为都是新生力量,和ASML没有很深的交情,

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