“用是够用,但若是当做研发对象,那就不够看了。”说到这里,老爷子诡异一笑,说道:“我知道你烦我。其实我知道,很多人都烦我,但就算你们都烦我,我也要一心搞科研,为了我们的国家!最后告诉你个好消息。200纳米级的一代光刻机,老夫我已经拿下。只要配件齐全,我能马上给你造出来一台!”
“倪老……什么,您老再说一遍?!”乔扬刚想劝解,突然醒过味儿来,不由的惊问道。
倪光难一脸得意的笑道:“我就喜欢看你这种表情。是的,你没听错,第一代光刻机的制程技术,我们已经完全掌握。来,这是技术报告,你看一看。”
说着话,倪光难转身欲拿那有着两块砖头厚的材料。
乔扬忙拦住,说道:“您老就别羞辱我了,我可得能看得懂啊。”
随后乔扬正色问道:“哪怕您老再生气,我也得再问您一遍,因为这可不是小事情。您真的能生产出一代光刻机啦?”
倪光难是很是自信的说道:“你放心,老夫知道光刻机可不是儿戏,一个小小的偏差,可能上亿美元就毁了,所以我可以用生命向你保证,95年之前,只要配件齐全,我肯定能让你看到一代光刻机!”
未等乔扬说话,倪光难又抢话说道:“从经济效益方面来说,200纳米光刻机还是很有市场的,但若是从技术领先来说,眼下ASML的193无疑是……”
后面倪光难说的什么,乔扬根本没听,此时的他开始搜寻记忆中的亮点。
其实进入九十年代之后,光刻机的光源就已经被卡在193纳米,整整二十年!
直到林本坚的出现,才让光刻机的技术突飞猛进。
先说光刻机,
再说林本坚。
在林本坚出现之前,当时无论是尼康、佳能还是阿斯麦尔(ASML),都是用空气来当作光媒介。
但当光源的波长达到193纳米,就再也降不下去了。
此时光刻机的技术数据就定格在了波长193纳米,光刻辨别率70纳米。
这就是现在让倪光难激动万分的数据。
而倪光难不知道的是,就是这个数据,一直卡了光刻机发展20年!
在此其间,各路科学家想了无法的办法,就是突破不了这个数据,想让光刻辨别率再降1纳米,都是极大的奢望。
几年之后,当时间来到千禧年前后,绝大多数科学家都认为依靠193纳米波长,想要把光刻辨别率降到65纳米,那是根本不可能的。
这时很多科学家和企业,把眼光瞄向了157纳米波长的光刻技术。
但157纳米光波,有很大的局限性,否则它早就取代193纳米波,成为光刻机的主流。
原因是157纳米的光波太弱,绝大多数材质的光刻机透镜,都会强烈吸收157纳米的光波。
只有二氟化钙材质的透镜勉强可以使用。
但因为二氟化钙的材质有着诸多缺陷性,所以想要把二氟化钙研磨成光刻机透镜,难度不是一般的高。
不仅如此,二氟化钙的透镜不仅难以研磨成功,而且价格太高,并且使用寿命也很短。
总是要斥巨资去购买二氟化钙的透镜,但用不了多长时间就得换,这也令各大芯片厂商吐槽不已。
其实在林本坚横空出世之前,不是没有人提出过浸入式光刻原理。
1999年,就有专家利用环辛烷浸入液做过试验。
但因为对于环辛烷浸入液的填充,以及对于镜头的污染
、光刻胶的稳定性等诸多问题无法解决,让专家们很快就放弃了浸入法的选择。
就在这一年,在天劫功成名就的林本坚,回到了家乡海岛,加盟了著名的台积电。
因为当时的台积电是阿斯麦尔的股东之一,所以经常会去参加阿斯麦尔的会议。