“周董，你们是如何把光刻机工件台运动精度误差控制在如此低程度的？”
童院长此时开口开口问道。
“我们自身研制出了超高精度的脉冲编码器可以对直线电机进行纳米级别的移动，另外控制系统里面导入了动态误差补偿算法。”
周晓东说道：“我们在大功率脉冲电源技术和功率放大器技术上技术底子做得还是很不错的，自身能研制出直线电机超高精度的脉冲编码器和高精度驱动电源模块和高性能的功率放大器模块，这方面的技术我们比国外产商做得还要好。”
“另外我们自己研制的超高精度光栅尺可以做到一纳米的分辨率，运动定位误差在四纳米，性能比德意志的雷尼绍光栅产品还要好。”
“这……你们是如何做到的？”
童金亮吃惊地问道。
“是这样，我根据莫尔条纹及四倍频直接细分的原理自己写了一套细分算法，这套算法写入了一颗专用插值芯对前端输出的正交信号进行插值细分，再利用编程芯片对插值细分后的信号进行二次细分，通过测试验证后我们设计的这套电子细分盒实现了高达二百五十六倍的细分，目前德意志那边只能做到一百二十八倍的细分。”
“……”
在座的这些专家院士半不出话来。
“这套超高精度光栅尺装置做出来后和我们研制的直线电机产品配套，可以说解决了国产一众半导体设备超高精密运动部件运动测控定位的技术需要。”
周晓东开口说道。
他自己带着星环科技和雅迪电子科技公司和玄思科技公司的这些技术团队亲自动手搞定了超高精度的光栅尺装置和磁悬浮直线电机等多项关键子系统装置后，总算是顺利地将光刻机需要的工件台系统和掩膜台系统给搞出来了。
拿下了这方面的关键技术，现在星环科技公司这支技术团队已经开始在研制晶圆级键合设备和激光退火设备，雅迪电子科技公司这边在研制研制全自动引线键合设备和多种晶圆清洗机设备，而玄思科技公司则在研制相干探测显微镜设备和椭偏仪设备以及热波系统检测设备，用来前道芯片制造工艺的检测。
“我知道中科院下面有多家研究所能够研制出世界领先的的激光晶体材料，我们国内在这个技术领域基础研究是非常厉害的，在这个基础上是可以研制出这种大功率深紫外波长的固态激光光源作为光刻机设备光源系统的的。”
“另外光刻机设备需要的镜头组需要抛光精度低于一纳米以以下，我们需要这种磁流变抛光设备和抛光材料才能做到，目前这样的设备米国和德意志方面是绝不会给我们的，希望能够得到中科院在的支持。”
“你们需要磁流变抛光设备来加工镜片？”
此时坐在那里的一名国防科工局官员此时开口说话了。
“是的，目前只有这种设备技术才能将光学镜头器件的加工精度达到一纳米以下，虽然我们和罗志平先生有研制这种离子束抛光设备的研制项目，不过这种加工精度最高也只能做到几纳米，为了能持续推进制程工艺的进步，我们必须做出这种最高的光学孔径数值镜片才能满足这个要求。”
周晓东开口说道：“为了加工出这种最高精度的光学器件，我们绞尽脑汁地想了很多办法，用了化学抛光工艺技术和超声波抛光工艺技术，因为这些镜片每一块镜胚面积很大，我们的高级技师想了很多办法，报废了很多材料后也只能把光学镜片的光学孔径数值做到零点七的样子，勉强能支撑我们把光刻工艺制程做到零点一三微米的样子。”
“首长，国防大学那边精密加工实验室有一个团队在做磁流变技术设备的的研究，到现在已经研发了九年时间，目前已经做出了试验样机产品……”