,光刻芯片的特征尺寸依旧在微米级,但如果采用深紫外波段准分子激光的话,那制成的芯片特征尺寸,则就进入了纳米级!
微米到纳米!
听到杨明所颁布的阶段性攻关目标,众人的脸上纷纷露出了可能被外行指挥内行的疑虑。
毕竟不说据他们所知,杨明对光刻相关技术虽然有极高的热诚,但在根本上就是个小白。
所以从开始讨论这个话题,他们便处处对杨明进行照顾,尽可能的采用一些但凡上过三天幼儿园就能听懂的语言进行描述,生怕杨明听不懂这点,就说现在!
连电汞灯辐射250紫外光的相关研发都没完成,杨明却要求用深紫外波段准分子激光,直接将特征尺寸从微米挑进纳米,那等于什么?
如果用小孩学步来形容,那就是连爬都没学会呢,就得先让人跑 ——那能跑的起来么?
科学这事,终究还得遵循基本规律。
要光凭听说过几个什么纳米啊微米的名词就脑袋一拍屁股就能成事,那就不是科学!
这,就是在场一众听到杨明提出的阶段目标时心里的想法。
对于众人可能在心底的鄙视,杨明并不在意。
毕竟自己是光刻方面的小白这点,那是事实。
但要说他提出的这要求是不遵循科学的基本规律,那可就大错特错了。
毕竟曾经,他可也算是被尖端芯片被卡脖子的受害者之一。
也是因此,在被卡脖子之时,他曾经深入的了解过整个光刻机的发展过程,所以对光刻机的发展史,他可真是了如指掌。
根据他的记忆,别看现在西方所曝光出来的研发进程,他们的光刻机依旧如张学东冯长宇所言,也还停留在微米阶段。
但事实上,现在西方的研究,其实已经将光刻的精度达到了纳米级!
而所采用的手段,就是准本子深紫外波段光源!
也就是说,就在当下,利用准分子深紫外激光制造纳米级芯片的技术,其实已经成熟。
在场一众之所以不理解,并非是他们的底蕴不够,只是因为不了解而已!
在这种情况下,他不让众人跳过电汞灯辐射紫外光这种落后技术,而是直接研究当下最先进的准分子激光,更待何时?
事实上,如果不是知道跳级这种事,可以玩从一年级跳到三年级,但绝对没法从一年级直接跳到大学这点,杨明怕是直接都得让众人直接从浸没式光刻技术开始研发,然后再直接转进到EUV技术路线的光刻机了……
也是因此,看着众人那你个外行出钱可以,但真的研发的话,你还是少外行指挥内行的表情,杨明微微一笑,然后侃侃而谈!