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第341章 极紫外光刻曝光光学系统(2 / 4)

上畅通无阻地行驶,高效地抵达目的地。”

在随后的日子里,林宇迅速地融入了这个充满挑战与激情的科研团队,全身心地投入到了紧张而艰苦的研究工作之中。他与光学工程师们一同整日埋首于复杂的光路设计图纸之间,图纸上密密麻麻的线条和数据仿佛是一座神秘的迷宫,他们在其中不断地探索、尝试和修正。每一条线条都代表着一束光线的可能路径,每一个数据都关乎着光学系统的性能优劣,他们如同执着的探险家,在这片知识的迷宫中寻找着最优的设计方案。

“我们需要重新审视每一个光学元件的布局和曲率设计。”林宇目光坚定地看着图纸,手中的铅笔在图纸上轻轻比划着,语气中透露出不容置疑的决心,“通过精确的光线追迹模拟,找到能够实现光线最优化聚焦和传输的配置。就像搭建一座精密的桥梁,每一个桥墩的位置和高度都必须恰到好处,才能确保桥梁的稳固和畅通。”

这章没有结束,请点击下一页继续阅读!光学工程师小王点头表示赞同,他的眼神中充满了对工作的专注和热情:“林先生,我们已经进行了多次模拟计算,但每次结果都不尽如人意。不过,我们不会放弃,就像攀登高峰的登山者,每一次跌倒都是为了下一次更有力的攀登。我们会继续调整参数,不断尝试新的组合,直到找到那个最佳的答案。”

与此同时,材料科学家们也在紧锣密鼓地开展着针对极紫外光学材料的研发工作。在实验室里,各种高温炉、反应釜等设备不停地运转着,发出嗡嗡的轰鸣声,仿佛是一场科技交响乐的演奏现场。他们在探索着新型的高透过率、低吸收的材料,这些材料如同是为极紫外光打造的“魔法铠甲”,能够让极紫外光在其中自由穿梭而不损失过多的能量。

“我们目前合成的这种材料在初步测试中展现出了一定的潜力。”材料科学家张博士满怀期待地看着手中的样本,眼中闪烁着兴奋的光芒,“其在极紫外波段的透过率相比以往的材料有了明显的提升,但在稳定性方面还存在一些问题,就像一艘刚刚下水的新船,还需要经过不断的调试和完善才能远航。我们需要进一步优化合成工艺,调整材料的成分和结构,使其能够在极端的光刻环境下保持稳定的性能。”

林宇来到材料实验室,关切地询问道:“张博士,在提高材料稳定性方面,我们是否考虑过引入一些特殊的添加剂或者采用新的晶体生长技术呢?就像在烹饪美食时,添加一些特殊的调料或者改变烹饪方法,可能会带来意想不到的效果。”

张博士沉思片刻,回答道:“林先生,我们确实在尝试这些方法。我们正在研究一些稀土元素作为添加剂的可能性,这些元素可能会改变材料的晶格结构,从而增强其稳定性。同时,我们也在探索分子束外延等先进的晶体生长技术,希望能够获得更加纯净、均匀的晶体材料,为极紫外光刻提供更优质的‘基石’。”

在研发过程中,一个又一个严峻的问题接踵而至,如同汹涌的波涛不断冲击着科研的航船。在一次重要的实验中,当极紫外光源开启后,光学系统突然出现了严重的热变形问题。光线在通过变形的光学元件时发生了扭曲和散射,就像一条原本笔直的道路突然变得崎岖不平,导致光刻的精度大幅下降,实验结果远远偏离了预期的目标。

“这是怎么回事?立即停止实验,检查所有设备和数据!”林宇迅速而果断地发出指令,眼神中透露出焦急与紧张。

经过一番仔细而深入的排查,科研团队发现是由于光源产生的高热量在短时间内无法有效散发出去,使得光学元件的温度急剧上升,进而引发了热变形。这就像是一台高速运转的发动机因为散热不良而出现故障,导致整个系统陷入瘫痪。

“我们必须设计一套高效的散热系统,确保光学元件在工作过程中能够始终保持稳定的温度。”李教授神情严肃

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