风车国时,阿斯麦愿意做第一个吃螃蟹的勇士。虽然阿斯麦也是从干式光刻机起家,但它想通过赛马制来赌一把,既然尼康、佳能都在死磕干式法157n光源,且进展不顺利,那这支“奇兵”的意义就是巨大的。
最终浸润式成功了。2003年,阿斯麦和弯积电合作研发的首台浸没式光刻设备——scanxt:1150i出炉,第二年又出了改进版。同年,研发进度拖慢的尼康,终于宣布了157n的干式光刻机产品样机出炉。
但此时胜负已定,一面是用原来193n光源但通过水进化到132n波长的新技术,一面是157n波长的样机,浸润式技术的优势不言而喻,这一技术成为此后65、45和32n制程的主流,推动摩尔定律往前跃进了三代。
尼康、佳能由于对技术路径的判断失误,不仅意味着几百亿研发资金打了水漂,更是在与阿斯麦的竞争中彻底落败。在2000年之前的16年里,阿斯麦虽然跻身光刻机制造第一梯队,但却是第一梯队里最小的玩家,占据的市场份额不足10%。
但自浸没式技术出现后,阿斯麦一路摧枯拉朽,全面碾压昔日巨头尼康、佳能,2008年市场占比超过60%。整个东桑国的半导体厂商,以及ib等巨头,也都因此迅速衰落。
韩所长就仿佛陷入了一种癫狂状态,在饭店的包间里不停的转圈,嘴里还叨叨咕咕的。他老伴儿害怕了,走上前去扶住韩所长的胳膊,“老韩,你怎么了?”
“不要打断我的思路。”韩所长一甩胳膊,差点没把老伴儿甩出去,幸亏林致远手疾眼快,一把扶住了韩夫人,这才没摔倒在地。
韩所长完全没有察觉这一状况,依然亢奋的走来走去,“加一层水,改变光的折射率,这是天才的想法,这个想法甚至能改变当前光刻机的模式,不,不是改变,是颠覆。”
“我要回家,我要打电话,现在,马上!”韩所长闷头就往外走。
林致远冲呆若木鸡的黄秘书和司机喊了一声,“你们两个别愣着了,我去算账,你们照顾好韩所长和阿姨。”
这两人如梦初醒,司机大踏步追了出去,黄秘书则陪着韩所长的老伴出了饭店,林致远掏出两张百元大钞,往收银台一拍,也不要找零了,飞奔着跟了出去。
他知道,他刚才那句话起作用了,而那句话是他故意以一个外行的身份说的。