思义就是利用多次曝光、刻蚀，得到我们最终想要的电路图案。”
“举个例子，我们要生产的开天基带芯片，它是28纳米制程，可我们的光刻机是48纳米制程，精度和分辨率远远不够怎么办呢？”
“最直接的办法是换台光刻机，但我们没有这个条件，这就需要在光掩膜版上下功夫，将原本完整的电路图案给拆开，分为阴阳互补的两块或者四块，这样就得到了两份56纳米间隔的电路图案。”
“单次曝光是56纳米，48纳米制程光刻机的精度和分辨率是不是就可以进行生产作业了？”
“这就是多重曝光技术。”
林天宛如老师给学生上课，教得特别仔细，并且还实操演示了一遍多重曝光技术全过程。
首席工程师杨方才，以及其他光刻工程师都看呆了。
这是什么天才想法？
设备不够，工艺来凑！
怪不得龙芯国际能够生产14纳米轻舟芯片，原来它们学会了多重曝光技术。
姗姗来迟的陈永听着林天的无私授课，快步来到陈星面前道：“陈老弟，这次真的太感谢你了。”
虽说两人都穿着防尘服，看不见具体样貌，但身处听课工程师人群的外围，很容易就能猜到彼此的身份。
陈星听见是陈永声音，露出抹微笑回应道：“都是国产联盟的，我们就不需要这么客气了，这段时间还要借用老哥你的光刻机呢。”
“哈哈，是我太见外了。”陈永点了点头，随即继续说道：“陈老弟想用多久用多久，如果有需要的话，我给你也搞两台回来。”
“陈老哥的好意我心领了，这个以后再谈吧。”
陈星婉拒道。
花1亿多买48纳米光刻机，他可没有那么多钱，他宁愿拿去投资光刻工厂。
不过光刻工厂属于绝密，他也没什么都往外说。
国产联盟虽好，但人心隔肚皮，要是利益足够大，谁也说不准会不会出现老鼠。
见陈星婉言相拒，陈永也是个聪明人，没有再多说什么，两人静静地等待芯片产出。
半小时后。
一位光刻工程师拿着封装好的开天基带芯片，快步来到陈永和陈星面前道：
“成了，是28纳米的！”
“检测清楚了吗？”
陈永连忙追问。
如果芯片真是28纳米，那就说明多重曝光技术是真的，他的光刻机变废为宝了！
“是28纳米的！”
“切割裸片良率怎么样？”
“95%！”
“我们工程师操作的呢？”
“这
个的话…”
这位工程师欲言又止，陈永今天心情大好，摆了摆手道：“直说就行，你们良率怎么样了？”
“很低…”
工程师刚说完，又连忙补充道：“现在除了杨方才首席，其他人都还没完全掌握多重曝光技术，切裸片还有点距离。”
这时陈星也站了出来，向陈永解释道：“多重曝光技术前期是要投入些成本的，因为些许偏差，整张硅片都会废掉。”
“整张？”
陈永倒吸了口凉气。
目前他们使用的半导体硅片是12寸的，如果失误就报废一张，那相当于学费都是上千块的。
陈星微微一笑，继续讲解道：“印电路图案和盖公章差不多，如果印错就图案重叠了，重叠的话，整张就会报废掉。”
盖公章的例子让陈永明白了，说白了就是电路图案重叠，导致内部集体损坏