“是的,老所长,情况大概你也了解了,去年的时候,我在帮信息产业部做企业整合改制过程中,帮着他们研发了一款音乐便携式产品,目前在国外很受欢迎,在研发过程中我发现一个很严重的问题,就是大部分的电子元器件我们国内都无法生产,尤其是芯片和存储器……”林致远娓娓道来,这样铺垫才不会显得他对光刻机的狂热追求不那么突兀。
“芯片……”韩所长叹了口气,“八十年代中后期就很少有人提及这个领域了,林助理,咱们国家其实在芯片和光刻机领域取得过不错的成就。1965年,咱们国家就研制出65型接触式光刻机,之后的研究一直没有中断过,1977年,我们研究出了第一台接触式光刻机gk-3型半自动光刻机,1980年,青华大学研制第四代分步式投影光刻机获得成功,光刻精度达到3微米,接近国际主流水平。1981年,神州科学院半导体所研制成功jk-1型半自动接近式光刻机。1982年,科学院109厂研制出了kha-75-1光刻机,这些光刻机在当时的水平均不低,最保守估计跟当时最先进的相比最多也就不到4年差距。1985年,我们所研制出了分步光刻机样机,这也是咱们国家第一台分步投影式光刻机,当时与国外的差距不超过7年。”
韩所长的声音变得越来越低沉,“只可惜进入九十年代后,我国光刻机光源长时间被卡在193纳米无法进步,这个技术非常关键……而且在八十年代,我国和花旗国的关系得到改善,很多过去对我们限制的高科技产品,现在都可以卖给我们了,国外的光刻机产品,性价比远高于自我研发,我国光刻技术的研发和产业化实质上放弃了自主攻关。”韩所长说起这些,唏嘘不已。
“韩所长,那您认为咱们现在重启光刻机项目还来得及吗?最大困难在哪里?”林致远听老所长如数家珍说着这些,就知道自已这趟没白来。