“我们都知道,高端芯片集成了百万晶体管,层层嵌套,图案极度复杂。国外极紫外光刻采用的是类似投影式的原理,一次投影曝光就能刻出一层图案”,景明站在台上,手上的粉笔写的飞快。
“所以只需要数次曝光就能够光刻出一枚高端芯片,这是他们远胜于我们的地方——能光刻复杂图案”。
底下坐着的二十几名研究生纷纷叹气。
这是开组会的会议室,此刻被景明征用来上课以及分配任务。
“而我们所做的SP光刻机用的是近场直写,最大的问题就是没办法刻复杂图形。以我们第一阶段的SP光刻机为例,目前为止我们仅仅能够用SP刻出一条直线”。
下一刻,景明淡定地在黑板上画了个五角星,然后他在这个五角星上打了一个大大的叉。
“SP光刻机刻得了直线,但刻不出一个五角星”,景明说着,在众人哀叹的眼光中扔下了粉笔,转过身。
“所以这就是我们二试要做的事情,刻出复杂图案”。
全场寂静无声。
所有人都知道,用一根探针刻一条直线,到刻出一个五角星来,这难度,简直提升了百倍。
更别提他们要刻的不是五角星,而是复杂了百万倍的图案。
“不要灰心”,景明还挺淡定的,“SP光刻有着比极紫外更卓越的优势,只要研制成功,我们就能随意刻制任何图形”。
“此外,由于我们是直写光刻,所以我们不需要重重掩膜、曝光,也就不用研发光刻胶,这可以省下许多人手和经费”。
“最后,我们的光源非常廉价,几十万块的汞灯所提供的能量就足够了,不像极紫外光刻机,由于功率要求太高,光源就要造价几千万”。
景明笑道,“往大了里说,SP光刻机前途宽广,只要研发成功,足够打破目前国际半导体格局,足以让我们占据上游市场,赚到国外的钱”。
“往小了里说,要是能研发出来,你们将来想**文、找教职工作,肯定不愁了!”
台下众人顿时精神奕奕,无论如何,景明画出来的大饼还是很香的。
“好”,景明点点头,“那接下来,我来说一下第二阶段的工作思路”。
“我们目前的探针只有一根,无法光刻复杂图案。所以自然而然衍生一条思路,增加探针,也就是所谓的点阵技术”。
“景明”,谭海峰作为大师兄,率先举了个手。
“点阵技术听上去很好,但是有一个最大的问题,那么多根探针聚合起来,高频直写时一定会相互影响,发生姿态偏移”。
“对”,景明点点头,然后他转身在黑板上写下了一连串词汇。
“位移载荷”、“摩擦阻力”、“光刻速度”……
“这些是我觉得会影响到姿态偏移的因素,也就是探针一组的实验内容,研究探针聚合时的形变因素”。
“我也有问题”,孙静舒脸色严肃,“探针聚合时光衰减,磁场很可能发生改变,到时候我们的光刻结构全都需要重新研发”。
“这部分的理论计算我来做”,景明冷静道,“大概一周左右,我会将整个光路的理论值发给你们,包括球冠面特征尺寸、透镜曲率、频谱分布等等”。
“等会儿,我也要问”。
“要想达成聚合效果,就得放大倏逝波,可目前为止我们的倏逝波已经放到最大了,根本没办法继续增大了,你打算怎么做?”
“调整离轴照明的频谱分布”
“等一下,我还没问呢!”
……
这一场组会,从早上八点,开到了中午,众人一窝蜂涌去了食堂,有的甚至揣了俩包子,又紧赶慢赶地跑回来。
激烈的争吵声一直没有断绝过。
在学术上,没有人会顾忌景明是国际大奖的得主,毕竟一旦失败,洒出来的经