！”
“数据已全部记录，根据数据计算显示，可以在原样机的基础上将效率提高至少18%，套刻误差提高到2nm以下。”
“一片晶圆可得芯片数量等于晶圆面积/芯片面积-晶圆直径/芯片对角线长，照该公式计算我们目前使用的12英寸晶圆一片可得到的芯片数量，不过最后可用的芯片数目得等到封测完毕才能知道最终的晶圆良率。”
经过光刻机曝光后的一大块晶圆还需要封装成一个完整的颗粒，再进行切割，最后测试。通过测试选出性能稳定、完好、容量足的芯片，剩下不合格的部分就会被当成废品处理。
稳定的芯片和不合格的芯片对比得出的数据称为晶圆良率，总良率超过90%才算可盈利的商品。
而晶圆制作过程历经三百多个步骤，其中随便哪个步骤出现差错就能导致整片晶圆损毁或拉低良率。
一粒肉眼看不见的灰尘掉进正在制作中的晶圆，它就会立即报废，所以光刻过程必须保证在恒温、无尘车间内工作。
“其余数据稳定！稳定！稳定！”
“13.5nmeuv样机，实验验收完毕！”
“验收通过！”
……
一片无声沉默中，盛明安率先开口：“可以向上报告，准备新机研制和新项目研发。”
下一刻，实验室内猛然爆发欢呼，还有人喜极而泣，他们埋头苦干了四五年！
有人在这行甚至干了十年以上，还以为有生之年都不能看到国产euv的诞生，怎么能想得到不仅看到了、还是自己参与的项目！
所以怎么能不喜极而泣？怎能不相拥欢呼？
林成建眼睛有点湿了，他忽然很想钻回自己的小房间，拿出妻子的照片将喜悦分享给她。
国产euv的诞生代表了世界半导体市场资源将从美国向华国倾斜，高通之流的庞然大物再不能风光多久。
如果妻子知道了，她的在天之灵也会欣慰吧。
杜颂瞥见林成建湿了的眼眶，想到发生在他身上的悲惨往事，不由拍了拍的肩膀以示安慰。
这时陈惊璆转身宣布：“今年每个人都能拿到一年工资份额的年终奖！”
“！！”
全年双倍工资？！
所有人发自内心欢呼得更加雀跃了。
其他非蓝河科技的人虽艳羡但也知道国产光刻机的问世将会给他们各自所在的企业带来巨大利益，所以他们年底的年终奖必然也很丰厚，实在用不着羡慕人家。
蓝河科技国产euv样机验收通过的消息跟插了翅膀似的，迅速飞出去，首先得知消息的人当然是一早就关注蓝河科技实验验收的华兴、华芯、微电子科技和华电科等半导体龙头企业。
当天，华电科会议室门口的秘书听到会议室里头突然传来巨响，心里一惊，以为里面的人议论不和发生混战，正思考要不要报警时，却听里头爆发出洪亮的笑声。
“……”
秘书满心无语和好奇，侧耳倾听，隐约听出几个字，拼凑出来就是‘国产euv样机验收通过’……国产euv？！
这玩意儿不是几个月前就爆出验收通过了吗？
新闻和各大网络媒体连番播放了个遍，身在半导体行业，周边人张口闭口都是国产euv、国产芯片，仿佛买了国产芯片股票就能大发横财似的，连大老板都在抢着注资蓝河科技。
秘书打开电脑搜索才发现几个月前验收的不是euv而是光源系统，那么真正的国产euv样机被研发出来了？！
她耸然一惊，这是真正的大新闻！！
果不其然，下一刻就见高层们推开会议室的门鱼贯而出，走在前头的大老板语速飞快的叮嘱：“准备好合同和律师，明天——不！就今天、现在，立刻联系蓝河科技订购最先一批新机，asml光刻机？他们又不肯卖给我们最新